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外延薄膜

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Si

外延薄膜

Major capability parameter
Crystal Structure
M3
Melt point(℃)
1420
Density
2.4(g/cm3
Doped material
 No doped
Type
P
Resistivity
10-3~40Ωcm
E P D
≤100∕cm2
O Content(∕cm3)
≤1~1.8×1018
C Content(∕cm3)
≤5×1016
Size
10×3m、10×5m、10×10mm、15×15mm、20×15mm
Special size and orientation are available upon request
Thickness
0.5mm、1.0mm
Size Tolerances
<±0.1mm
Thickness Tolerances
<±0.015mmspecial in<±0.005mm)
Polishing
Single or double
redirection precision
±0.5°
Redirection the edge:
2°(special in 1°)
Crystal orientation
<100>、<110>、<111>
Pack
100 clean bag,1000 exactly clean bag