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450UPL |
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主机 |
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系统配置 |
超精密2,3或4轴CNC机床并预留Y轴定位功能 |
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主轴加工能力
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直径450mm x长300mm (不选配旋转轴B. Axis时转动直径为200mm)注:可定制加工口径 |
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基本架构 |
整合有冷却槽 |
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控制系统
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Delta Tau系统 |
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编程分辨率 |
线性分辨率0.01 nanometer /角度分辨率0.0000001 |
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主轴 |
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类型 |
独家专有PI带有中心推力平板的径向沟槽补偿空气轴承 |
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液体冷却(选项) |
封闭的环绕式致冷系统 |
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转速范围 |
50至10,000 rpm,双向转动 |
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承载能力(径向) |
70Kg，100 psi/85Kg，145psi |
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轴向刚性 |
228 N/um，100 psi/
260 N/um，145 psi |
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轴向刚性(顶部) |
98N/um，100psi/
140N/ um, 145 psi |
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运动精度 |
轴向：小于等于12.5纳米
径向：小于等于12.5纳米 |
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线性轴 |
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X轴行程 |
350mm |
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Z轴行程 |
350mm |
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Y轴行程选配，垂直 |
100mm |
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选配旋转轴 |
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B轴行程 |
360°(双向) |
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C轴行程 |
360°(双向) |
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B轴定位精度 |
士1.0弧秒 |
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C轴定位精度 |
士1.0弧秒 静态 |