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主要性能参数 | |
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晶体结构 |
立方 |
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晶格常数 |
a=5.147 Å |
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熔点（℃） |
2700 |
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密度（g/cm3） |
6.0 |
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硬度 |
8-8.5（mohs） |
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纯度 |
99.99% |
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热膨胀系数（/℃） |
10.3×10-6 |
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介电常数 |
ε=27 |
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生长方法 |
弧熔法 |
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尺寸 |
10x3，10x5，10x10，15x15，，20x15，20x20， |
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dia2” x 0.33mm dia2” x 0.43mm 15 x 15 mm | |
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厚度 |
0.5mm，1.0mm |
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抛光 |
单面或双面 |
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晶向 |
<001>±0.5º |
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晶面定向精度: |
±0.5° |
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边缘定向精度: |
2°（特殊要求可达1°以内） |
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斜切晶片 |
可按特定需求，加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜（倾斜角1°－45°）的晶片 |
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Ra: |
≤5Å（5µm×5µm） |
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包装 |
100级洁净袋，1000级超净室 |