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溅射靶材

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金属靶材

溅射靶材

材料
纯度
最大尺寸
制备方法
Al
3~5N
1000×300mm
熔炼
Ag
4N
1000×300mm
熔炼
Au
4N
800×300mm
熔炼
Bi
4N
400×200mm
熔炼
C石墨)
3N
600×300mm
特殊烧结
Co
3N
800×300mm
熔炼
Cr
2N5~3N5
500×200mm
特殊烧结
Cu
3N7
1000×300mm
熔炼
Fe
2N5,3N,4N
1000×300mm
熔炼
Ge
4N
Dia 4″
特殊烧结
Hf
3N
500×200mm
熔炼
In
4N
800×300mm
熔炼
Mg
3N5
500×300mm
熔炼
Mo
3N5
500×300mm
特殊烧结
Ni
2N5,3N5,4N5
1000×300mm
熔炼
Pb
3N,4N
800×300mm
熔炼
Pd
3N
500×300mm
熔炼
Si
5N
Dia 4″
特殊烧结
Sn
3N5,5N
1000×300mm
熔炼
Ta
3N5
1000×300mm
熔炼
Ti
2N5,3N
1000×300mm
熔炼
V
2N5,3N
1000×300mm
熔炼
W
3N5
1000×300mm
熔炼
Zn
3N,4N
800×300mm
熔炼
Zr
3N
800×300mm
熔炼

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