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主要性能参数 | |||
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晶体结构 |
面心立方 | ||
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熔点（℃） |
1420 | ||
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密度 |
2.4（g/cm3） | ||
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掺杂物质 |
不参杂 |
掺B |
掺P |
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类 型 |
N或P |
P |
N |
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电 阻 率 |
>1000Ωcm |
10-3~40Ωcm |
102~104Ωcm |
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E P D |
≤100∕cm2 |
≤100∕cm2 |
≤100∕cm2 |
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氧含量（∕cm3） |
≤1~1.8×1018 |
≤1~1.8×1018 |
≤1~1.8×1018 |
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碳含量（∕cm3） |
≤5×1016 |
≤5×1016 |
≤5×1016 |
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尺寸 |
10×10mm、15×15mm、Dia50.8mm、Dia76.2mm、Dia100mm 可按照客户需求，定制特殊方向和尺寸的基片 | ||
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厚度 |
0.3-0.5mm、1.0mm | ||
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尺寸公差 |
<±0.1mm | ||
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厚度公差 |
<±0.015mm特殊要求可达到<±0.005mm） | ||
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抛光 |
单面或双面 | ||
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晶面定向精度 |
±0.5° | ||
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边缘定向精度 |
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