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薄膜衬底

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铝酸锶钽镧(La,Sr)(Al,Ta)O3 LSAT

薄膜衬底

主要性能参数

生长方法

提拉法

晶体结构

立方

晶格常数

a=3.868 A    

熔点(℃)

1840

密度

6.74(g/cm3

硬度

6.5(mohs)

介电常数

22

热膨胀系数

10 x 10-6 

颜色及外观

根据退火情况由无色到浅棕色,无鸾晶和可见畴

尺寸

10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,

Ф15,Ф20,Ф1″,Ф2″

厚度

0.5mm,1.0mm

抛光

单面或双面

晶向

<100>、<110>、<111>±0.5&ordm;

Ra:

≤5&Aring;(5&micro;m×5&micro;m)

包装

100级洁净袋,1000级超净室