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主要性能参数 | |
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晶系 |
四方 |
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生长方法 |
提拉法 |
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晶格常数 |
a=3.756Å c=12.63 Å |
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熔点（℃） |
1650 |
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密度 |
5.92（g/cm3） |
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硬度 |
6-6.5（mohs） |
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介电常数ε |
~ 22 |
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尺寸 |
10x3，10x5，10x10，15x15，，20x15，20x20， |
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Ф15,Ф20，Ф1″，Ф2″ | |
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厚度 |
0.5mm，1.0mm |
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抛光 |
单面或双面 |
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晶向 |
＜001＞ |
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晶面定向精度: |
±0.5° |
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边缘定向精度: |
2°（特殊要求可达1°以内） |
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斜切晶片 |
可按特定需求，加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜（倾斜角1°－45°）的晶片 |
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Ra: |
≤5Å（5µm×5µm） |
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包装 |
100级洁净袋，1000级超净室 |