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薄膜衬底

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钛酸锶(SrTiO3)

薄膜衬底

主要性能参数

晶体结构

立方

生长方法

火焰法

晶格常数

a=3.905Å

熔点(℃)

2080

密度

5.175(g/cm3

硬度

6(mohs)

热膨胀系数(/℃)

9.4×10-6

介电常数

300

化学稳定性

在水中不溶解

正切损耗

~5×10-4(300k) ~3×10-4(77k)

颜色及外观

透明(根据退火状态有时有轻微的棕色)无鸾晶

尺寸

10×3m、10×5m、10×10mm、15×15mm、20×15mm

可按照客户需求,定制特殊方向和尺寸的基片

厚度

0.5mm、1.0mm

抛光

单面或双面

晶面定向精度

±0.5°

边缘定向精度

2°(特殊要求可达到1°以内)

取向

<100>、<110>、<111>等

包装

100级洁净袋,1000级超净室