铝酸镁钪（ScMgAlO4）
ScAlMgO4晶体是最近发展起来的一种GaN和ZnO异质外延用理想的衬底材料，是目前与GaN和ZnO晶格失配最小的新型衬底材料。ScAlMgO4晶体属于六方晶系，晶格常数a=0.3246nm，c=2.5195nm，具有菱形六面体层状结构，与纤锌矿氮化物和氧化锌的结构相似。
ScAlMgO4是一种与GaN和ZnO 晶格常数和结构非常匹配的衬底材料（表1）。它与GaN的晶格失配率约为1.8%，与ZnO的晶格失配率仅为0.09%，a轴的热膨胀系数为6.2×10-6/℃，c轴的热膨胀系数为12.2×10-6/℃，与GaN、ZnO外延薄膜之间的热膨胀系数失配比传统的蓝宝石和硅等衬底好的多。
表1 主要衬底材料与GaN及ZnO的晶格失配率
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衬底材料 |
ScAlMgO4 (0001) |
ZnO (0001) |
SiC (0001) |
β-Ga2O3 (100) |
Al2O3 (0001) |
Si (111) |
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与GaN失配 |
+1.8% |
+2.3% |
-3.5% |
+5% |
-13% |
+16.9% |
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与ZnO失配 |
+0.09% |
--- |
-5.2% |
-6.5% |
-18.4% |
+40.1% |
提供产品：
方向：（0001）
尺寸：5×5mm, 10*10mm, 15*15mm, 20*20mm