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薄膜衬底

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氧化镁(MgO)

薄膜衬底

 

主要性能参数

生长方法

弧熔法

晶体结构

立方

晶格常数

a=4.130 Å 

熔点(

2800

纯度

99.95%

密度(g/cm3

3.58

硬度

5.5mohs

热膨胀系数(/

11.2x10-6

晶体解理面

<100>

光学透过

>90%200~400nm),>98%500~1000nm

介电常数

ε= 9.65

热导率(卡/度 厘米 秒)

0.14  300°K

尺寸

10x310x510x1015x15,,20x1520x20

dia2”x0.33mmdia2”x0.43mm15 x15 mm

厚度

0.5mm1.0mm

抛光

单面或双面

晶向

<001>±0.5&ordm;

晶面定向精度:

±0.5°

边缘定向精度:

(特殊要求可达以内)

斜切晶片

可按特定需求,加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜(倾斜角45°)的晶片

Ra:

≤5&Aring;5&micro;m×5&micro;m

主要特点

 由于MgO<SP